Zpět na vybavení

Depoziční systém
SHM Phoenix

  • Výrobce: SHM Šumperk, Česká republika
  • Katoda: rotační válcová
  • Terč: segmentový válcový (W, Ta, B4C, C)
  • Napěťové zdroje: DC
  • Depoziční teplota: 20 °C - 550 °C
  • Mezní tlak: 2E-5 Pa
  • Další informace: planetární systém rotace vzorků, LGD