Zpět na vybavení

Depoziční systém
Vinci Technologies PVD 50S

  • Výrobce: Vinci Technologies, Francie
  • Počet terčů: 4
  • Terče: Cu, W, B4C, C, ...
  • Napěťové zdroj: 2x DC, 2x RF, 2x p-DC
  • Depoziční teplota: 20 °C - 900 °C
  • Mezní tlak: 1E-4 Pa
  • Další informace: Load-Lock, MOS (in-situ pnutí vrstev)