Zpět na vybavení

Depoziční systém
HVM Flexilab

  • Výrobce: HVM Plasma spol s.r.o., Česká republika
  • Počet terčů: až 3 souběžně
  • Terče: o průměru 2"
  • Napěťové zdroje: 3x DC, 1x p-DC, 1x RF, možnost HiPIMS
  • Depoziční teplota: 20°C - 600°C
  • Mezní tlak: 2E-5 Pa
  • Další informace: plně automatizované řízení přípravy vrstev