Zpět na vybavení

Diagnostická metoda
Sondová diagnostika plazmatu

Lokální měření proudu na magnetronovém terči lze měřit pomocí tzv. páskových sond, kterou jsou v terči zabudované, ale od něj izolované. Každá pásková sonda je připojena k napájecímu zdroji, aby byla na stejném potenciáli jako zbytek terče. Pro každou sondu je měření provedeno zvlášť. Časový vývoj proudové hustoty lze určit jak v nereaktivním, tak reaktivním režimu magnetronového naprašování.