Determination of titanium atom and ion densities in sputter deposition plasmas by optical emission spectroscopy

P. Vašina, M. Fekete, J. Hnilica, P. Klein, L. Dosoudilová, P. Dvořák, Z. Navrátil

Článek představuje metodu využívající efektivní větvící poměry, která nám umožňí určit koncentraci atomů a iontů titanu z intenzit samoabsorbovaných spektrálních čar. Metoda je založena na fitování teoreticky vypočtených větvících poměrů a větvících poměrů určených experimentálně z naměřených poměrů intenzit vybraných rezonančních čar atomů a iontů titanu. Metoda byla úspěšně testovaná na DC i HiPIMS magnetronovém výboji.

Plasma Sources Science and Technology 24 (2015) 065022

Understanding of hybrid PVD-PECVD process with the aim of growing hard nc-TiC/a-C:H coatings using industrial devices with a rotating cylindrical magnetron

R. Žemlička, M. Jílek, P. Vogl, P. Souček, V. Buršíková, J. Buršík, P. Vašina

Článek se zabývá diagnostikou a porozuměním hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v atmosféře obsahující acetylen. Toto je zkoumáno v průmyslové aparatuře. Na základě srovnání chování procesu a vrstev jím vyrobených jsou navrženy parametry, které mohou být využity pro přípravu algoritmu pro průmyslovou depozici nc-TiC/a-C:H povlaků.

Surface & Coatings Technology 255 (2014) 118-123

Superhard nanocomposite nc-TiC/a-C:H coatings: The effect of HiPIMS on coating microstructure and mechanical properties

P. Souček, J. Daniel, J. Hnilica, K. Bernátová, L. Zábranský, V. Buršíková, M. Stupavská, P. Vašina

Článek představuje studii porovnávající depoziční proces a deponované nc-TiC/a-C:H povlaky připravené stejnosměrným magnetronovým naprašováním a povlaky připravené za využití naprašování pomocí pulzů vysokého výkonu. Jsou identifikovány rozdílnosti v procesech probíhajících během depozice. Rozdílnosti ve struktuře povlaků připravených oběma metodami jsou využity pro vysvětlení zlepšených mechanických vlastností povlaků připravených naprašováním pulzy vysokého výkonu.

Surface & Coatings Technology 311 (2017) 257-267

Simultaneous electrical and optical study of spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

P. Klein, F. Lockwood Estrin, J. Hnilica, P. Vašina, J.W. Bradley

Článek se zabývá studiem ionizačních center tzv. spokes, do kterých se plazma samo uspořádává během HiPIMS pulzu. Pro studium byla použita rychlá kamera spolu s páskovými sondami, které jsou novou, unikátní metodou pro diagnostiku tohoto typu plazmatu . Tato kombinace diagnostických metod umožnila pozorovat spojování a rozpojování ionizačních center v čase. Bylo pozorováno, že se centra v čase nespojují a nerozpojují úplně náhodně, ale jejich počet osciluje kolem stabilní konfigurace. Byl navržen model, který dává do souvislosti počet pozorovaných ionizačních center, jejich rychlost, jejich velikost a rychlost atomů pracovního plynu argonu.

Journal of Physics D: Applied Physics 50 (2017) 015209

Seznam všech publikací

2019

2018

2017

2016

2015

2014

2013

2012

2011

2008