Zpět na vybavení
Depoziční systém
Alcatel SCM 650
- Výrobce: Alcatel, Švédsko
- Počet terčů: až 4
- Typy terče: kruhový (průměr 7.5 cm a 20 cm) a obdelníkový (7.6 cm x 25 cm)
- Terče: Al, Cr, Cu, Nb, Ta, Ti, W
- Napěťové zdroje: DC, RF, HiPIMS
- Mezní tlak: 1E-4 Pa