Zpět na vybavení
Depoziční systém
HVM Flexilab
- Výrobce: HVM Plasma spol s.r.o., Česká republika
- Počet zařízení: 2
- Počet terčů: až 3 souběžně
- Terče: o průměru 2"
- Napěťové zdroje: 3x DC, 1x p-DC, 1x RF, možnost HiPIMS
- Depoziční teplota: 20°C - 600°C
- Mezní tlak: 2E-5 Pa
- Další informace: plně automatizované řízení přípravy vrstev