Zpět na vybavení
Depoziční systém
Vinci Technologies PVD 50S
- Výrobce: Vinci Technologies, Francie
- Počet terčů: 4
- Terče: Cu, Al, Ti, W, Ta, B4C, C, Si ...
- Napěťové zdroje: 2x DC, 1x RF, 2x p-DC
- Depoziční teplota: 20 °C - 750 °C
- Mezní tlak: 1E-4 Pa
- Další informace: Load-Lock, MOS (in-situ pnutí vrstev)