Zpět na vybavení
Semion RFEA systém
- Výrobce: Impedans Plasma Measurement, Irsko
- Model: jednoduchý sensor
- Kompatibilní druhy plasmy: dc, p-dc, RF, p-RF, microwave, HiPIMS
- Časové rozlišení: 1 µs
- Energiové rozlišení: 1 eV
- Napěťový skenovací rozsah: ± 2000 V
- Maximální operační teplota: 150°C