Zpět na vybavení
Diagnostická metoda
Sondová diagnostika plazmatu
- Typy sond: Langmuirove, páskové, emisní, optické
- Páskové sondy: Lokální měření proudu na magnetronovém terči. Sondy jsou v terči zabudované, ale od něj izolované. Každá pásková sonda je připojena k napájecímu zdroji, aby byla na stejném potenciáli jako zbytek terče. Pro každou sondu je měření provedeno zvlášť. Časový vývoj proudové hustoty lze určit jak v nereaktivním, tak reaktivním režimu magnetronového naprašování.
- Rozsah optických sond: 350 - 1100 nm