Zpět na vybavení
Rastrovací elektronový mikroskop
Tescan MIRA3
- Výrobce: Tescan, Česká republika
- Rozměry komory: 340 mm x 315 mm s motorizovanou manipulací
- Maximální rozlišení: 1 nm při 30 kV
- Zvětšení: 2x - 1 000 000x
- Zdroj elektronů: Schottkyho katoda
- Detektory: SE, BSE, InBeam-SE, InBeam-BSE
- Chemická analýza: EDX, WDX, EBIC