Zpět

Konference: AEPSE 2019

V září 2019 sa konala konference The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering ve městě Jeju v Jižní Korei. V rámci této konference přednesl Matej Fekete přednášku o vlivu ionizovaných rozprášených částic na hysterezní chování reaktivního magnetronového výboje buzeného pulzy velkého výkonu.

Přednáška:

  • Sputtered Species Ionisation and Hysteresis Behaviour of Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering