Laboratoř PVD technologií

Článek s názvem Study of the transition from self-organised to homogeneous plasma distribution in chromium HiPIMS discharge byl uveřejněn v odborném časopisu Journal of Physics D: Applied Physics. Článek přispívá k lepšímu porozumění jevů, ke kterým dochází při přechodu mezi samo-uspořádáním do spoků a homogenním režimem plazmatu během HiPIMS. Pro rozlišení mezi režimy lze použít jednoduchou plochou sondu umístěnou kolmo k povrchu terče. Při přechodu od spoků k homogennímu plazmatu tok vícenásobně ionizovaných částic narůstá mnohem více než aplikovaný výkon. Tato pozorování jsou vysvětlena nárůstem teploty elektronů a změnou typu jejich ohřevu.

Článek bude vydán jako Open Access a je k dispozici na tomto odkazu.