Zpět
Publikace v Surface and Coatings Technology
Článek s názvem Enhancement of ionized metal flux fraction without compromising deposition rate in industrial magnetron sputtering byl publikován v časopise Surface and Coatings Technology. V článku je prezentována technologie zvyšující tok ionizovaných rozprášených částic na substrát pomocí sekundárního výboje.
Seznam našich dalších publikací naleznete zde.