Laboratoř PVD technologií

U zařízení Alcatel SCM 650 proběhla rozsáhlá renovace a vylepšení jednotlivých subsytémů. Předělána byla kompletní elektroinstalace, rozvody plynů a část vakuového subsystému. Přestavba zařízení probíhala plně v gesci naší výzkumné skupiny s přispěním několika odborníků, kteří nám asistovali při návrhu elektrických subsystémů a vývoji softwaru. 

Zařízení nyní disponuje plně softwarovým řízením a prvky, které zajišťují vysokou bezpečnost jak pro uživatele, tak i pro zařízení. Moderní komponenty umožňují kontinuální dohled nad parametry a neustále dochází k jejich zaznamenávání. Uživatel je tak schopen sledovat závislosti těchto parametrů během i po skončení vlastního experimentu, což je výhodné při diagnostice plazmatu, kdy je nutné zajistit stabilní podmínky pro plazma a opakovatelnost experimentu. Při vývoji procesů pro přípravu tenkých vrstev lze takto vypozorovat drobné rozdíly v procesu, které mohou rozhodnout o kvalitě připravované vrstvy a přispět tak k robustnosti celého depozičního procesu.

Fotografie z přestavby naleznete v galerii.