Zpět
Semion RFEA systém
Od poloviny července máme k dispozici nové zařízení rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti studia procesu nanášení tenkých vrstev. RFEA (Retarding Field Energy Analyser) umožňuje časově rozlišená měření dopadajících iontů například při magnetronovém naprašováni tenkých vrstev.
