Zařízení pro depozici tenkých vrstev

Laboratoř PVD technologií je vybavena celkem třemi systémy pro depozici tenkých vrstev. Každý ze systémů má unikátní konfiguraci magnetonových hlav a zdrojů pro buzení plazmatu, což umožňuje připravit velmi široké spektrum tenkých vrstev různého složení na různé typy vzorků.

Používané depoziční systémy jsou velmi flexibilní. Při odprašování terčů lze do depoziční komory připustit reaktivní plyn a připravit tak oxidy, nitridy, hydridy či karbidy různé stechiometrie. Je možné odprašovat přímo i slitinové či keramické terče a připravit tak tenkou vrstvu prakticky libovolného složení bez přítomnosti reaktivního plynu. Vzorek lze před depozicí iontově očistit přímo v depoziční komoře a následně vyhřát na teplotu požadovanou pro růst krystalických tenkých vrstev. Je-li magnetonové plazma buzeno pulzy velkého výkonu, velmi silný iontový bombard rostoucí vrstvy může nahradit nutnost používání zvýšené teploty vzorků během depozice a je tedy možné připravit krystalické tenké vrstvy i na teplotně velmi citlivých vzorcích.

Vinci Technologies PVD 50S

Na zakázku vyrobený systém, který může využít k přípravě vrstev až čtyři terče současně. K buzení plazmatu využívá stejnosměrné, pulzní i radiofrekvenční napěťové zdroje.

Více

Alcatel SCM 650

Systém může být osazen třemi typy planárních magnetronových hlav. Převážně je systém využíván k diagnostice plazmatu, protože je zde k dispozici zdroj pro HiPIMS.

Více

SHM Phoenix

Zapůjčené experimentální povlakovací zařízení vyrobené SHM Šumperk, které splňuje průmyslové specifikace. Unikátním prvkem je válcová katoda se segmentovým terčem.

Více

Materiálová analýza

Pro materiálovou analýzu a charakteristiku tenkých vrstev má laboratoř dostupné pokročilé přístrojové vybavení přímo na ÚFE. K dispozici je určení morfologie povrchu vrstev, komplexní chemická analýza a mikrostrukturní analýza. Díky přesným indentorům jsou studovány mechanické a tribologické vlastnosti tenkých vrstev.

Tescan MIRA3

Rastrovací elektronový mikroskop pro analýzu morfologie povrchu tenkých vrstev. Mikroskop umožňuje komplexní chemickou analýzu metodami EDX a WDX.

Více

Horiba LabRAM HR Evolution

Ramanův spektrometr pro strukturní analýzu vzorků. Spektrometr je osazen třemi budícími lasery (IR, VIS, UV) pro mikro charakterizaci vzorků (např. grafitizace DLC vrstev).

Více

Hysitron TI 950 TriboIndenter

Pokročilý nanoindentor pro analýzu mechanických vlastností materiálů. Umožňuje velmi přesná měření mechanických a tribologických vlastností tenkých vrstev.

Více

ESCALAB 250Xi

Vysoce citlivý rentgenový fotoelektrický spektroskop umožňující citlivou kvalitativní i kvantitativní analýzu chemického složení včetně hloubkových profilů a chemických vazeb.

Více

Bruker DektakXT

Hrotový profilometr pro analýzu morfologie povrchu poskytující výškové rozlišení až 0.1 nm využívaný převážně na analýzu tenkých vrstev a drsnosti povrchu.

Více

NT-MDT Ntegra Prima

Modulární sondový mikroskop, který je uzpůsoben k různým metodám analýzy povrchů. Pro nízký teplotní drift a termální stabilitu je vhodný pro časově náročné analýzy.

Více

LEXT OLS4000

Konfokální mikroskop Olympus je navržen pro snímání povrchu, měření drsnosti a analýzu struktur vzorků. Mikroskop využívá laser s vlnovou délkou 405 nm.

Více

REVETEST Xpress plus

Přístroj pro charakterizaci mechanických vlastností systému tenká vrstva-substrát. V kombinaci s dalšími přístroji slouží k testování adheze a lomové houževnatosti.

Více

Rigaku SmartLab Type F

Rentgenový difraktometr s vysokým rozlišením pro studium mikrostruktury připravených tenkých vrstev (strukturální a fázová analýza vzorků včetně automatického mapování).

Více

Diagnostika plazmatu

Studium plazmatu je umožněno díky moderním spektrometrům, rychlé ICCD kamery a sondové diagnostiky. Klíčovým prvkem diagnostiky plazmatu je spojení těchto technik a správné vyhodnocení experimentálních dat.

Princeton Instruments PI-MAX3

ICCD kamera s rozlišením 1024x1024 pixelů umožňuje snímaní velmi rychlých jevů probíhajících v plazmatu.

Více

Sondová diagnostika plazmatu

Zpracování charakteristik různých typů sond s časovým a prostorovým rozlišením procesů plazmatu v oblasti terče.

Více

Shamrock 750 & FHR 1000

K dispozici dva citlivé Czerny-Turner spektrometry s ohniskovou vzdáleností 750 mm a 1000 mm osazené CCD a ICCD detektory.

Více